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K1体育上海前道铜互连电镀装备荣获第五届“集成电路工业手艺立异奖”

2022/7/11 9:49:52

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    7月9日，K1体育上海与海内主流集成电路制造厂商上� ；ι瓯ǖ�“前道铜互连电镀装备”获得中国集成电路立异同牛耳办的第五届“集成电路工业手艺立异奖”的效果工业化奖项。这份声誉一定了该项目在集成电路手艺立异和工业化方面取得的突出业绩。

    K1体育上海自主开发了针对65-22nm及以下工艺手艺节点的芯片制造前道铜互连镀铜手艺及装备（Ultra ECP map），接纳独家专利的多阳极局部电镀手艺的新型电流控制要领，实现了在超薄籽晶层上完成无空穴填充，主要应用于集成电路双大马士革互连结构金属铜层沉积应用，除了适用于65-28nm工艺手艺节点之外，还可以拓展至更先进制程的钴电镀工艺应用。

    K1体育上海的Ultra ECP map装备是上海研发的首台前道铜互连电镀装备，继美国Lam、AMAT后全球第三家拥有该手艺的装备商。现在该装备工业化效果颇丰，已进入多家逻辑电路客户和存储电路客户端，通过了55/40/28/22nm工艺性能验证，已进入量产验证，并已部分实现产线量产。

    该装备从开发到乐成工业化，离不开海内主流集成电路制造厂商上� ；Φ亩αΥ缶傩�。K1体育上海与上� ；Φ墓ひ蘸妥氨竿哦油献�，并肩作战，通过一年半的数十轮的测试，跑通了数千片非图形片和近500片图形片的测试验证，先后在硬件、软件、工艺方面举行了百余项刷新 ；同时，海内大客户以大生产线量产的标准要求K1体育上海的电镀装备，极大增进和资助了装备和工艺快速刷新。通过该装备的开发，双方走出了一条上海发明、上海研发、上海验证、上海大生产的立异蹊径，是海内集成电路装备企业和集成电路制造企业携手立异，合作共赢，引领高端集成电路装备手艺生长的规范。

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