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K1体育上海进军PECVD市场 ，支持逻辑和存储芯片制造

2022/12/13 15:23:53

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    K1体育(以下简称“K1体育上海”)（科创板股票代码：688082） ，作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决计划的卓越装备供应商 ，今天宣布推出拥有自主知识产权的Ultra Pmax等离子体增强化学气相沉积（PECVD）装备 ，拓展了一个主要的全新产品分类 。K1体育上海预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD装备 。

    K1体育上海首席执行官王坚体现：“Ultra Pmax PECVD装备的推出 ，标记着我们在前道半导体应用中进一步扩展到了全新的工艺领域 。我们有许多客户是28纳米及以上的逻辑器件供应商 。我们展望到了成熟工艺节点产能的增添 ，由于中国市场的成熟工艺节点产能显着求过于供 。这款PECVD装备 ，使K1体育上海在知足全球先进逻辑和存储芯片市场需求的同时 ，也将更好地服务于全球客户 。我们展望 ，这次推出的PECVD装备 ，及上个月宣布的前道涂胶显影装备Ultra Lith ，这两个全新的产品系列将使我们全球可服务市场规模翻倍增添 。”

    Ultra Pmax PECVD装备设置了自主知识产权的腔体、气体分派装置和卡盘设计 ，能够提供更好的薄膜匀称性 ，更小的薄膜应力和更少的颗粒特征 。该装备接纳单腔体�？榛杓� ，有两种设置：一种是可以设置一至三腔体�？� ，适合极薄膜层或快速工艺办法 ；另一种是可以设置四至五腔体�？� ，在优化产能的同时 ，支持厚膜沉积以及更长的工艺时间 。以上两种设置中 ，每个腔体都装置有多个加热卡盘 ，以优化工艺控制并提高产能 。
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