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K1体育上海等离子体增强原子层沉积炉管装备通过起源验证 ，原子层沉积炉管产品进一步强化

2024/12/11 8:00:00

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    K1体育（以下简称“K1体育上海”）（科创板股票代码：688082） ，作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决计划的卓越供应商 ，今日宣布 ，其2024年推出的Ultra Fn A等离子增强型原子层沉积炉管装备（PEALD）已起源通过中国大陆一家半导体客户的工艺验证 ，正在举行最后优化和为迈入量产做准备。

    K1体育上� ；剐� ，其于2022年推出的Ultra Fn A热原子层沉积炉装备（Thermal ALD）也已乐成通过另一家领先的中国大陆客户的工艺验证 ，性能参数比肩同类国际竞品 ，甚至更胜一筹。
 
    K1体育上海董事长王晖博士体现：“现代集成电路（IC）的制造历程 ，越来越依赖具有卓越蹊径笼罩率以及高质量的精准薄膜沉积手艺。应对诸如氮化碳硅、氮化硅薄膜和崎岖介电常数薄膜等沉积质料所带来的重大挑战 ，需要真正的立异 ，而K1体育上海的研发团队依附其先进的原子层沉积（ALD）平台和工艺已逐步靠近和完成这一目的。我们相信 ，K1体育上海的专有差别化设计计划能够解决先进三维结构制造中面临的难题。”
 

    K1体育上海的Ultra Fn A ALD立式炉装备产品包括热原子层沉积（热ALD）和等离子体增强原子层沉积（PEALD）两种设置 ，可执行硬掩模层、阻挡层、距离层、侧壁� ；げ恪⒔橹侍畛涞榷嘀直∧こ粱姑� ，知足目的工艺应用的种种需求。这两种设置均接纳六单位系统 ，可批量处置惩罚多达100片300mm晶圆。该装备还包括四个装载端口系统（装载区可控制氧气浓度）、一个集成供气系统（IGS）和一个原位干法洗濯系统 ，所有设计均切合SEMI标准。

    K1体育上海的Ultra Fn A PEALD装备目今应用沉积氮化硅 (SiN) 薄膜。该机具接纳双层管设计以及气流平衡手艺 ，能够显著提升晶圆内（WIW）和晶圆间（WTW）的匀称性。通过接纳等离子增强手艺 ，该装备还可有用降低器件的热预算。别的 ，通过微调前驱体在前置单位中的存储和释放量 ，能够告竣控制器件的要害尺寸和图案轮廓。

    K1体育上海的Ultra Fn A碳氮化硅（SiCN）热模式原子层沉积炉管装备已通过海内领先的集成电路制造客户的验证。该装备能够实现超薄、无逍遥的薄膜沉积 ，并且能够准确控制薄膜厚度 ，抵达原子级别的沉积精度。同时 ，该装备还能够实现准确的碳掺杂 ，从而提升薄膜的硬度和耐侵蚀性。别的 ，该装备还具有内置的干法清洁功效 ，能够确� ？帕５奈裙绦�。

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